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简介：在现场看了一会之后，从越打了一个电话给熊院士
，熊老，我刚回来，你那边怎么样了？电话那头的熊院士心情看来不错，他笑着跟从越说道 ：一切顺利 ，经过测试使用了193nm波长的arf氟化氩准分子激光光源，步进式扫描投影方式的这两台光刻机最高芯片加工精度都超过了35纳米，不过良品率目前还不能确定，这要依据所加工芯片的复杂度而定，听到这个好消息
，从越也很高兴，但是他也没忘了问熊院士另外一件事：熊老 ，你上次跟我说的浸没式步进扫描有什么进展没有  ？熊院士玩笑道 ：不是我批评你啊 ，从总 ，你也太贪心了吧 ？这才几个月啊 ？你就想一个重大项目立刻有眉目，我可不是孙猴子
，会七十二变，从越也笑道：我就是随便问问，想了解一下，项目已经完成立项，理论先行，目前可行性报告正在撰写中，等完成论证就可以开始下一步实验了
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